Федеральное государственное бюджетное учреждение науки
Федеральный исследовательский центр химической физики
им. Н.Н. Семенова Российской академии наук
28-Научно-техническая конференция Вакуумная наука и техника
16 – 21 сентября 2021, ТОК «Судак», Республика Крым